特長

●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
●装置組込みに適したコンパクトサイズです。
●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
●大気圧からの作動が可能です。

用途

●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
●リークディテクタ。

仕様

●排気速度(L/min)50/60Hz:30/36
●到達圧力(Pa):0.67
●吸気口径:KF-16
●電源(V):単相100-120
●騒音値(dB):-
●サーマルプロテクタ付:○
●使用油:R-2
●全幅×全長×全高(mm):120×288.5×163
●2段排気方式
●CEマーキング自己宣言品
●TUV、cTUVus認証取得品
●一台から異電圧に別作対応
●日本

注意

●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
●排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。

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2016年4月14日以降発生した、熊本地震をはじめとする九州の一連の地震で被害を受けられた皆様に心よりお見舞いを申し上げます。一日も早く復旧されますようお祈り申し上げます。

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